Generatore plasma TruPlasma MW series

I generatori della TruPlasma MW Serie sono basati sulla tecnologia a stato solido e raggiungono una precisione di frequenza molto superiore rispetto ai generatori di microonde basati su magnetron. L'innovativo concetto della piattaforma permette di realizzare con efficienza e redditività altissime densità del plasma e requisiti di processo molto esigenti. La struttura modulare garantisce inoltre una precisa messa in scala della potenza di uscita. L'alimentazione elettrica rimane sempre stabile, senza compromettere la qualità del processo. Nella produzione di semiconduttori, celle solari e display, la TruPlasma MW Serie assicura i migliori risultati e la massima affidabilità, grazie a moderne funzioni di processo. Formazione di impulsi precisa e veloce L'innovativa pulsazione nell'intervallo dei nanosecondi consente un migliore controllo del processo al plasma. Smart auto frequency tuning L'adattamento automatico della frequenza assicura un risultato ottimale del processo e un'elevata riproducibilità. Fasi sincrone In sistemi a più antenne è possibile far funzionare e pulsare diversi generatori in sincronia di fase. Variando la coerenza di fase tra i singoli generatori, è possibile ottenere un'ampia omogeneità del plasma. Design robusto Potete contare sul funzionamento del generatore anche in caso di disallineamento: la qualità del processo non viene compromessa.