Analizzatore di gas di processo QULEE CGM series

di gas residuodi monitoraggiodi processo

MONITOR DEI GAS DI PROCESSO COMPATTO - SERIE QULEE CGM "Qulee" (pronunciato come "KLEE"), è l'ultimo modello ULVAC per l'analisi dei gas residui e il monitoraggio dei gas durante il processo. I commenti degli ingegneri delle varie linee di produzione sono incorporati nel nuovo design del prodotto che offre la massima semplicità. Il Qulee offre alta precisione e risoluzione anche ad alta pressione (1Pa o meno), ideale per il sistema Sputtering Ideale per il monitoraggio del processo di vari sistemi di sputtering sysytem Sistema di pompaggio differenziale non richiesto Nessun sistema di pompaggio differenziale richiesto (a 1Pa (7,5×10-3 Torr, 1×10-2 mbar) o inferiore) Display integrato Non c'è bisogno di PC Funzionamento semplice "Funzione "One Click Cuocere Max 120˚C (248˚F) cottura ad alta temperatura (250˚C (482˚F) quando i sensori vengono rimossi) Funzione Degas Degas da bombarda elettronica Caratteristiche di protezione e manutenzione Manutenzione della protezione della sorgente ionica e della protezione secondaria del moltiplicatore di elettroni funzione di aiuto Rintracciabilità del tubo di analisi (in attesa di brevetto) Sono disponibili vari test di tenuta Prova di tenuta all'elio, prova di tenuta all'aria, prova di accumulo Misurazione della pressione totale In grado di misurare la pressione totale (manometro a ionizzazione) Qulee QCS è incluso Questo software è incluso e compatibile con (Windows 7/8) QIP (sistema Quick Install Package) è incluso Pacchetto di misurazione automatica (fare riferimento al catalogo opzioni per maggiori dettagli) Standard applicabile Conforme alle norme CE Monitoraggio di processo per sistemi fotovoltaici, FPD e semiconduttori Analisi dei gas residui nel sistema PVD Controllo delle impurità (H2O, ecc.) nel sistema PVD Per le prove di tenuta