Generatore di funzione DPG-5P/DPG-10P

di impulsidi tensionedi scarica

GENERATORI PULSATI A CORRENTE CONTINUA DPG-5P/DPG-10P I DPG-5P/10P sono generatori di corrente continua a impulsi a corrente continua da 5kW/10kW per lo sputtering reattivo. Questo generatore di potenza cambia la tensione di uscita negativa in tensione più, e scarica la tensione dell'elettrone di immagazzinamento della superficie di destinazione. In questo modo si ottiene un miglioramento della resa e del rendimento Rende possibile un'elevata potenza assorbita riducendo le anomalie appuramento Riduce i danni al substrato In grado di ridurre i danni al substrato causati dagli archi Frequenza dell'impulso di inversione variabile Portata possibile: 10kHz a 250kHz Capace di grandi capacità attraverso connessioni master/slave Fino a sei unità possono funzionare in parallelo (lo stesso modello è disponibile) Corrispondente all'uscita DC Annulla una funzione a impulsi e può emettere in uscita DC CARATTERISTICHE SPECIALI/ULTERIORI APPLICAZIONI Apparecchiature di sputtering reattivo per FPD Apparecchiature di sputtering reattivo per rivestimenti industriali Apparecchiature di sputtering reattivo per TFT a colori