Valvola a saracinesca 652 series
elettricadi isolamentodi regolazione della pressione

Valvola a saracinesca - 652 series - VAT Vakuumventile AG - elettrica / di isolamento / di regolazione della pressione
Valvola a saracinesca - 652 series - VAT Vakuumventile AG - elettrica / di isolamento / di regolazione della pressione
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Caratteristiche

Tipo
a saracinesca
Azionamento
elettrica
Funzione
di isolamento, di regolazione della pressione
Applicazioni
per l'industria dei semiconduttori
Materiale
in alluminio
Altre caratteristiche
compatta, ad alta prestazione, per ambiente corrosivo, con motore passo-passo
DN

200 mm, 250 mm
(7,874 in, 9,843 in)

Temperatura

Min.: 0 °C
(32 °F)

Max.: 120 °C
(248 °F)

Descrizione

Ottimizzato per il semiconduttore corrosivo ed i processi di FPD (per esempio incidere) e per i processi di pulizia fra i processi di deposito. Nel modo di controllo, la valvola funziona virtualmente senza particella. La manutenzione può essere facile e veloce fatti. Un vantaggio è la gamma estesa di controllo.

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