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Sistema di litografia per l'industria dei semiconduttori Ultratech AP200/300

sistema di litografia per l'industria dei semiconduttori
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Caratteristiche

Tipo
per l'industria dei semiconduttori

Descrizione

AP200/300 Punti di proiezione La famiglia di sistemi litografici AP200/300 è costruita sulla piattaforma personalizzabile Unity Platform™ di Veeco, che offre prestazioni superiori di sovrapposizione, risoluzione e profilo delle pareti laterali e consente una produzione altamente automatizzata ed economica. Questi sistemi sono particolarmente adatti per applicazioni con colonne di rame, fan-out, attraverso il silicio via (TSV) e interpositore di silicio. Inoltre, la piattaforma dispone di numerose caratteristiche di prodotto specifiche dell'applicazione per consentire l'utilizzo di tecniche di confezionamento di nuova generazione, come il premiato sistema di allineamento dual-side alignment (DSA) di Veeco, utilizzato in tutto il mondo nella produzione in serie. Caratteristiche principali Lente di proiezione a banda larga con risoluzione di 2 µm progettata per applicazioni di imballaggio avanzato Lunghezza d'onda di esposizione da 350 - 450 nm per gestire una vasta gamma di materiali fotosensibili Advanced Packaging Selezione programmabile della lunghezza d'onda (GHI, GH, GH, I) per l'ottimizzazione del processo e latitudine di processo L'illuminazione ad alta intensità fornisce un throughput di sistema superiore Grande Profondità di messa a fuoco per processi di resistenze spesse e topografia dei wafer di grandi dimensioni Elevata produttività del sistema per un favorevole costo di proprietà del sistema L'illuminazione ad alta intensità riduce il tempo di esposizione La dimensione del campo di 68 x 26 mm espone due campi di scansione, riducendo il numero di passaggi di esposizione per wafer Stadio di sistema veloce e sistemi di ingresso/uscita wafer per ridurre al minimo i tempi di manipolazione Sistema di allineamento flessibile con capacità di auto metrologia La capacità di allineamento del sistema di visione industriale brevettato (MVS) elimina la necessità di obiettivi di allineamento dedicati e semplifica l'integrazione del processo

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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.