Macchina per deposizione per MOCVD TurboDisc® MaxBright® MHP™

di film sottili

Il sistema del Multi-Reattore di MOCVD di TurboDisc® MaxBright® MHP? GaN rappresenta l'ultimo sistema modulare di rendimento elevato destinato specialmente per produrre il rendimento eccellente di miglioramento di uniformità di lunghezza d'onda della entro-cialda di fino a 20% sopra il MaxBright dell'orma, dell'utilità, dei benefici e della configurazione simili della disposizione. Gli avanzamenti dei fissaggi del multi-reattore offre l'uniformità migliorata di lunghezza d'onda attraverso tutte le cialde per realizzare i più grandi rendimenti. MaxBright MHP inoltre offre la proprietà più bassa costata sopra il MaxBright. Il sistema unisce gli alti reattori multipli di MOCVD di rendimento in un modulare 2 - o architettura della serie di ingranaggi dei 4 reattori per leverage la tecnologia di FlowFlange® dell'uniforme del Veeco e la perizia produzione-provate di automazione. Sulla base del disegno alto-riuscito di K465i del Veeco, il sistema include i reattori migliorati che accerta la capienza espansa della cialda ed avanzato, il proprietario, tecnologia termica a circuito chiuso di controllo.