Sensore di pressione a vuoto WUD-2 series

a film sottiledigitale3 cavi

Industria dei semiconduttori e fotovoltaica, produzione schermi piatti Fornitura di gas ultra puro nei sistemi di produzione di semiconduttori Caratteristiche distintive Misura di pressione ad elevata precisione 0,15 % RSS Eccellente stabilità a lungo termine Eliminazione del rumore sul segnale e schermatura alle interferenze Misura di pressione con riferimento di vuoto reale Compensazione di temperatura attiva Descrizione Affidabile I trasduttori ultra high purity serie WUD-2x combinano sensori di ultima generazione con segnali in uscita analogici. Essi sono quindi in grado di fornire misure di pressione sicure ed accurate per soddisfare le attuali esigenze del mercato. La misura di pressione con un reale riferimento del vuoto e le soluzioni elettroniche per la schermatura dalle interferenze e l'eliminazione del rumore assicurano una misura di pressione di elevata precisione nonché un'eccellente stabilità a lungo termine. La compensazione attiva riduce l'impatto sulla misura delle variazioni di temperatura e consente quindi un funzionamento sicuro anche in applicazioni con elevate fluttuazioni di temperatura, es. effetto Joule-Thompson nell'espansione del gas. I trasduttori WUD-25 (flow through) e WUD-26 (surface mount) sono progettati specificatamente per resistere alle sollecitazioni da torsione che spesso si verificano durante l'installazione. La speciale esecuzione del sensore a film sottile elimina il rischio di guasto al sensore causato dai carichi sull'attacco al processo o sui giunti saldati. Versatile Il WUD-2x può essere installato facilmente nei sistemi di distribuzione del gas "on-tool".