Microscopio per analisi di materiale ZEISS ORION NanoFab

a videocamera digitalea fascio di ioni d'elio

ORION NanoFab è un microscopio a ioni multifascio 3 in 1, progettato per la fabbricazione di nanostrutture inferiori a 10 nm utilizzando il NanoPatterning and Visualization Engine e altre applicazioni. Dispone di tre tipi di fasci che gli utenti possono passare senza soluzione di continuità tra i fasci di gallio, elio e neon. Il FIB di gallio è adatto per la rimozione di materiale di massa in un campione di sostanza. Il fascio di elio, invece, è ideale per la realizzazione di strutture al di sotto dei 10 nm. Il fascio di neon consente agli utenti di formare nanostrutture a velocità altamente efficienti e con un'elevata produttività. Il NanoFab ha un'alta risoluzione di imaging di 0,5 nm, che consente di ottenere immagini ad alta risoluzione di campioni che utilizzano lo stesso strumento.