Il sensore di gas di monossido di carbonio MEMS utilizza una piastra calda di microfabbricazione MEMS su una base di substrato di Si, materiali sensibili ai gas utilizzati nell'aria pulita con materiale semiconduttore di ossido di metallo a bassa conduttività. Quando il sensore è esposto all'atmosfera gassosa, la conduttività cambia in base alla concentrazione di gas rilevata nell'aria. Maggiore è la concentrazione del gas, maggiore è la conduttività. Utilizzare un circuito semplice può convertire la variazione di conduttività della concentrazione di gas corrispondente al segnale di uscita.
Applicazioni
È adatto per la rilevazione di perdite di monossido di carbonio per uso residenziale o industriale.
Caratteristiche
Tecnologia MEMS, struttura robusta
Elevata sensibilità al gas CO
Alta sensibilità, basso consumo energetico
Risposta rapida e riprendere
Circuito di azionamento semplice