Ottimizzazione dei processi di modificazione superficiale potenziata al plasma mediante misurazioni continue dell'energia prodotta
Nei processi potenziati dal plasma, la comparsa e la natura delle reazioni superficiali e le velocità di reazione sono determinate in modo significativo dall'energia cinetica delle particelle in entrata. Insieme ad altri contributi, come l'entalpia di radiazione e di reazione, fa parte dell'afflusso totale di energia che è cruciale per le risultanti proprietà superficiali del substrato trattato al plasma.
ZIROX, NEOPLAS e il Leibniz-Institut für Plasma Science and Technology hanno sviluppato una nuova sonda per la misurazione in situ del reale afflusso di energia in superficie durante un trattamento superficiale. In questo modo, la grandezza e la direzione del flusso di energia possono essere caratterizzate e correlate alle proprietà del materiale.
Grazie alla sua elevata sensibilità ai cambiamenti dei parametri di processo e al costo relativamente basso, la sonda termica attiva è particolarmente adatta per un efficiente controllo qualità e monitoraggio online dei processi al plasma nell'industria o nella ricerca.
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