Sensore di vuoto capacitivo a membrana ZNX series

analogicocon controllorecompatto

Il sensore ZNX è un sistema di misurazione della posizione senza contatto basato sul principio della micrometria capacitiva. Due piastre del sensore (un target e una sonda) formano un condensatore a piastre parallele. La distanza tra queste due piastre può essere misurata, utilizzando l'apposito controllore elettronico, con una precisione migliore di 0,1 nm, con una portata fino a 1,25 mm, una risposta in frequenza fino a 5 kHz e una linearità fino allo 0,02%. Essendo un metodo senza contatto, il sensore ZNX è privo di isteresi. Non viene dissipata energia nel punto di misura. - Misure di precisione fino a picometri - Stabilità di misura - Sintonizzabile per soddisfare i requisiti dell'applicazione - Opzioni per un'ampia gamma di applicazioni -Caratteristiche principali Gamma 20 ~ 1250μm; Risoluzione di posizione subnanometrica; Isteresi di zero; Errore di linearità fino allo 0,02%; Larghezza di banda fino a 5 kHz; Disponibilità di termini Super Invar; Opzioni compatibili con il vuoto; Errore di linearità (%): <0,08, <0,08, <0,06, <0,05; Corta distanza μm: 20, 100, 250; Lunga distanza μm: 50, 100, 500; Uscita analogica: ± 5, ± 5, ± 5, 8; Larghezza di banda massima: 5, 5, 5, 12,5Khz.