Misuratori di portata HORIBA

Portata volumetrica: 0 l/min - 0,1 l/min
Temperatura di processo: 0 °C - 80 °C
Pressione di processo: 1,1 bar - 3,5 bar

... un'elevata produttività e maggiori prestazioni di processo Funzionalità MRMG per piccole portate (Bin101 - Bin105) Fornisce flessibilità ai processi che richiedono una portata ridotta Migliore chiusura della valvola ...

Temperatura di processo: 0 °C - 80 °C
Pressione di processo: 0,13 bar - 4 bar
Ripetibilità: 0,01 % - 0,3 %

... D700WR può controllare la portata fino allo 0,1% del fondo scala, consentendo agli utenti di ottimizzare la flessibilità del sistema di erogazione del gas. Ad esempio, se il sistema installa più MFC per il controllo della portata ...

Temperatura di processo: 0 °C - 80 °C
Pressione di processo: 3,5 bar - 7,5 bar
Ripetibilità: 0,03 % - 0,3 %

... Questo modulo di portata massica insensibile alla pressione all'avanguardia è dotato di rilevamento della pressione differenziale e di una valvola piezoelettrica. L'elevato livello di prestazioni fornito dal CRITERION D500 ne garantisce ...

Temperatura di processo: 15 °C - 45 °C
Pressione di processo: 2,4 bar - 4,12 bar

... D700uF (Micro Flow) è progettato per applicazioni a flusso ≤ 5SCCM. il controllo del flusso ≤ 5SCCM è molto critico nei processi ad alto rapporto di aspetto I componenti specializzati e lo standard a basso flusso di nuova concezione consentono un controllo ...

Temperatura di processo: 15 °C - 60 °C
Pressione di processo: 2,4 bar - 3,5 bar

... D700T è il modulo di portata massica sensibile alla pressione con le migliori prestazioni, progettato per i processi critici di produzione dei semiconduttori. Il D700T ha adattato la tecnologia di misura e controllo del flusso basata ...

Portata volumetrica: 0,1, 0,3 l/min
Pressione di processo: 0,5 bar - 4 bar
Ripetibilità: 0,15, 0,01 %

... regolatore di portata massica causato dalle fluttuazioni di pressione. La serie SEC-Z700S dimostra un'elevata stabilità e controlla il flusso di gas senza influenzare le fluttuazioni di pressione a monte e a valle. Vengono fornite le ...

... l'ultimo modello della sua serie di regolatori di portata massica ultrasottili. Questo prodotto aumenta la portata a fondo scala*1 di circa sette volte rispetto ai modelli precedenti e raggiunge una portata ...

Portata volumetrica: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Temperatura di processo: 5 °C - 50 °C
Pressione di processo: 0,5 bar - 3 bar

... all'influenza dello scarico secondario (vaporizzazione) e rende possibili misure di portata accurate. Struttura/Principio di funzionamento Entrambe le serie di misuratori di portata massica ...