Il software dell'ellissometro spettroscopico PHE dispone di una libreria di modelli e film con parametri di misura predeterminati, che consentono all'operatore di selezionare un'applicazione ed eseguire rapidamente una misura. La biblioteca comprende diverse centinaia di modelli diversi. Il software di facile utilizzo PHE Spectroscopic permette all'utente di misurare e analizzare strati multipli di materiale e strutture complesse a film sottile con strati misti, strati di interfaccia e molto altro ancora. Il software all'avanguardia dispone di diverse centinaia di modelli di materiali. L'ellissometro PHE-102 include tutto l'hardware e il software necessario per acquisire e analizzare tutti i dati del campione. Inoltre, il software per ellissometro PHE-103 è il programma più completo disponibile per l'acquisizione e l'analisi dei dati. Combina algoritmi matematici di adattamento allo stato dell'arte con un'ampia selezione di opzioni di modellazione per un'analisi dei dati rapida e precisa. Un software avanzato di ellissometria spettroscopica.
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