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Un ellissometro spettroscopico è uno strumento ottico utilizzato per misurare con precisione lo spessore di strati sottili di un dato materiale oppure per identificare le proprietà fisiche e ottiche di un campione da analizzare.
ApplicazioniIl progresso informatico, necessario al trattamento dei valori di misura rilevati, ha permesso di migliorare considerevolmente gli ellissometrici spettroscopici. Questi dispositivi sono utilizzati nell'industria ottica, microelettronica, nonché nella fabbricazione delle cellule fotovoltaiche.
TecnologieUn ellissometro spettroscopico sfrutta una fonte luminosa policromatica (UV, visibile, IR).
Il processo è il seguente: un fascio di luce, dopo essere stato riflesso da un campione la cui superficie è rigorosamente piana, subisce una variazione di polarizzazione. Questo fascio di luce riflesso, in seguito, attraversa un analizzatore rotativo ed è orientato verso uno spettrometro. La misurazione su intervalli di spettro e per angoli di incidenza diversi permette di ottenere un gran numero di misure che saranno comparate informaticamente a dei modelli in maniera da estrarne delle informazioni precise sul campione da analizzare.
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