Ellissometro spettroscopico VASE series

Il VASE® è un ellissometro accurato e versatile per la ricerca su tutti i tipi di materiali: semiconduttori, dielettrici, polimeri, metalli, multistrati e altro. Combina un'alta accuratezza e precisione con un'ampia gamma spettrale - fino a 193 a 3200nm. La lunghezza d'onda e l'angolo di incidenza variabili consentono capacità di misurazione flessibili, tra cui: - Ellissometria a riflessione e trasmissione - Ellipsometria generalizzata (anisotropia, ritardanza, birifrangenza) - Intensità di riflettanza (R) e trasmittanza (T) - R/T a polarizzazione incrociata - Depolarizzazione - Scatterometria - Matrice di Mueller Massima precisione dei dati Il VASE è dotato di un ellissometro analizzatore rotante (RAE) combinato con il nostro AutoRetarder® brevettato per una precisione dei dati senza precedenti. Selezione della lunghezza d'onda di alta precisione Il monocromatore a scansione è progettato specificamente per l'ellissometria spettroscopica. Ottimizza la velocità, la precisione della lunghezza d'onda e il flusso di luce, mentre controlla automaticamente la selezione delle lunghezze d'onda e la risoluzione spettrale. Misurazioni flessibili Il VASE è dotato di un montaggio verticale del campione per adattarsi a una grande varietà di geometrie di misurazione, tra cui la riflessione, la trasmissione e la dispersione. Tecnologia AutoRetarder Gli elissometri ad analizzatore rotante (RAE) massimizzano l'accuratezza dei dati vicino alla condizione "Brewster" - dove i dati Ψ/Δ sono ricchi di contenuto. Tuttavia, questa regione può essere limitante per i campioni con segnale ridotto. L'AutoRetarder brevettato è una piastra d'onda controllata dal computer che modifica la polarizzazione del fascio di luce prima che raggiunga il campione. Questo produce condizioni di misurazione ottimali per qualsiasi campione - in qualsiasi condizione. AutoRetarder misura accuratamente: - Ψ e Δ su tutta la gamma!