Ellissometro spettroscopico VUV-VASE series
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Caratteristiche
- Specificazioni
- spettroscopico
Descrizione
L'ellissometro spettroscopico ad angolo variabile VUV-VASE® è il gold standard per la caratterizzazione ottica dei film sottili per litografia. Misura lunghezze d'onda dall'ultravioletto vuoto (VUV) al vicino infrarosso (NIR). Questo fornisce un'incredibile versatilità per caratterizzare numerosi materiali: semiconduttori, dielettrici, polimeri, metalli, multistrati e liquidi come i fluidi di immersione.
Ampia gamma spettrale
Il VUV-VASE copre lunghezze d'onda da meno di 140nm a 1700nm.
Alta precisione
Utilizzando il nostro AutoRetarder® brevettato, il VUV-VASE garantisce la precisione per qualsiasi misurazione del campione.
Comodo caricamento del campione
Il design speciale permette un caricamento del campione veloce ed efficiente senza contaminare lo spurgo del sistema.
Proteggi i tuoi campioni
Il monocromatore è posizionato prima del campione per limitare l'esposizione dei materiali fotosensibili.
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Cataloghi
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