Ellissometro spettroscopico M-2000 series

La linea di ellissometri spettroscopici M-2000® è progettata per soddisfare le diverse esigenze della caratterizzazione dei film sottili. Un design ottico avanzato, un'ampia gamma spettrale e una rapida acquisizione dei dati si combinano in uno strumento estremamente potente e versatile. L'M-2000 offre sia velocità che precisione. La nostra tecnologia brevettata RCE combina l'elissometria a compensatore rotante con il rilevamento CCD ad alta velocità per raccogliere l'intero spettro (centinaia di lunghezze d'onda) in una frazione di secondo con un'ampia gamma di configurazioni. L'M-2000 è il primo ellissometro che eccelle veramente in tutto, dal monitoraggio in situ e dal controllo di processo alla mappatura dell'uniformità su vasta area e alla caratterizzazione generale dei film sottili. Nessun'altra tecnologia ellissometrica acquisisce uno spettro completo più velocemente. Tecnologia ellissometrica avanzata L'M-2000 utilizza la nostra tecnologia brevettata RCE (ellissometro con compensatore rotante) per ottenere un'elevata accuratezza e precisione. Rilevamento rapido dello spettro Il design RCE è compatibile con il rilevamento CCD avanzato e collaudato per misurare TUTTE le lunghezze d'onda simultaneamente. Ampia gamma spettrale Raccogli oltre 700 lunghezze d'onda dall'ultravioletto al vicino infrarosso - tutte simultaneamente. Integrazione flessibile del sistema Con un design ottico modulare, l'M-2000 è adatto per il fissaggio diretto alla vostra camera di processo o configurato su una qualsiasi delle nostre basi da tavolo. Precisione Il design avanzato assicura misure ellissometriche accurate per qualsiasi campione.