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Macchine di incisione per wafer per l'industria microelettronica
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... collaudata tecnologia di incisione a secco, compreso lo sviluppo brevettato della bobina di plasma induttivo ad accoppiamento multiplo (MS-ICP) e la sua applicazione per l'array di materiali semiconduttori composti. L'APX300-S può lavorare ...
macchina di incisione per wafer sottovuotoIBT 800
... spessore di nitruri (Si3N4).
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