Impianto di movimentazione robotizzato WHM

integratoper wafer

Il modulo WHM WaferHandling.Module sviluppato da Adenso con una camera a vuoto centrale e il robot WHR WaferHandling.Robot integrato è ottimizzato per la movimentazione di substrati/carrier nell'alto vuoto. Il nostro modulo WHM WaferHandling.Module funziona in modo completamente indipendente, è poco ingombrante e può essere facilmente agganciato alle vostre stazioni di processo già completamente funzionanti - il vostro strumento Vacuum.Cluster è pronto! WHR Robot per il trattamento dei wafer Camera del vuoto con 4-8 porte Moduli LoadLock.LLM STEALTH.CARRIER Moduli di allineamento wafer WAM FLP FOUP300 VAC.LOADPORT Il WaferHandling.Robot Adenso WHR è il cuore della nostra piattaforma modulare VAC.ROBOTICS. L'Adenso.WHR svolge compiti di manipolazione di substrati sensibili e di grandi dimensioni nella robotica del vuoto (VacBot industriale) ed è ottimizzato per la massima capacità di carico e per grandi portate. La semplice geometria del braccio consente valvole a saracinesca di dimensioni ridotte e aree di rotazione di movimentazione compatte. I vostri vantaggi in sintesi GAMMA: Grandi distanze di traslazione - massima flessibilità CARICO: Massima capacità di carico - selezione illimitata del substrato VALVOLA A GARA: Cinematica intelligente - valvola a saracinesca di dimensioni ridottissime CALPESTAZIONE: cinematica salvaspazio - minimo ingombro di installazione COMPLESSITA': Con Adenso è tutto più semplice, risparmiando spazio e denaro!