Modulo di precentraggio WAM200/300 VAC

Il modulo WaferAlignment.Adenso WAM200/300 VAC allinea substrati come wafer rotondi e angolari, substrati trasparenti e carrier, in posizione centrale e angolare. Il WAM è perfettamente combinabile con il WaferHandling.Robot Adenso WHR: il robot riceve automaticamente i dati di correzione dal WaferAlignment.Module tramite un'interfaccia. I vostri vantaggi Ingombro: risparmio di spazio grazie all'integrazione diretta nei sistemi cluster Flessibilità: sono possibili diverse dimensioni e geometrie di substrato Produttivo: allineamento rapido Preciso: grazie all'unità di azionamento diretto Adenso DDU Riduzione dei costi: risparmio sui costi di investimento e di esercizio