La versatile famiglia di generatori RF e sistemi di erogazione di potenza Apex® presenta un design compatto e modulare adatto al montaggio in camera. Utilizzando una sofisticata tecnologia di conversione RF, i generatori RF e i sistemi di erogazione di potenza Apex offrono una maggiore affidabilità del prodotto e del processo. Le capacità di potenza ad alta densità li rendono ideali per i processi al plasma avanzati. I vari modelli di comunicazione e le caratteristiche configurabili consentono di personalizzare la piattaforma e di esplorare approcci di integrazione. Non sono necessari tempi di consegna dei generatori personalizzati.
- Alta densità di potenza in un design snello
- Opzioni di montaggio a bordo camera, montaggio su telaio, montaggio su rack e scatola da scarpe
- Loop di controllo a banda larga
- Controllo a impulsi opzionale
- Gestione dell'arco ad alta velocità
- Integrazione immediata degli strumenti di processo con una maggiore flessibilità
- Stabilizzazione del funzionamento del plasma
- Migliorare la resa grazie alla gestione rapida dell'arco
- Facilmente personalizzabile e configurabile in base ai requisiti di processo
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