Generatore plasma radiofrequenza Apex RF

La versatile famiglia di generatori RF e sistemi di erogazione di potenza Apex® presenta un design compatto e modulare adatto al montaggio in camera. Utilizzando una sofisticata tecnologia di conversione RF, i generatori RF e i sistemi di erogazione di potenza Apex offrono una maggiore affidabilità del prodotto e del processo. Le capacità di potenza ad alta densità li rendono ideali per i processi al plasma avanzati. I vari modelli di comunicazione e le caratteristiche configurabili consentono di personalizzare la piattaforma e di esplorare approcci di integrazione. Non sono necessari tempi di consegna dei generatori personalizzati. Caratteristiche Alta densità di potenza in un design snello Opzioni di montaggio a bordo camera, montaggio su telaio, montaggio su rack e scatola da scarpe Loop di controllo a banda larga Controllo a impulsi opzionale Gestione dell'arco ad alta velocità Vantaggi Integrazione immediata degli strumenti di processo con una maggiore flessibilità Stabilizzazione del funzionamento del plasma Migliorare il rendimento per una gestione veloce dell'arco Facilmente personalizzabile e configurabile in base ai requisiti di processo