Sorgente di plasma remoto MAXstream

La linea MAXstream™ di Advanced Energy è la nuova generazione di sorgenti di plasma remote per la pulizia delle camere. La MAXstream è disponibile con portate NF3 da 3, 6, 8, 10 e 12 SLPM per ottimizzare prezzo e prestazioni. Per garantire una lunga durata della camera e una bassa generazione di particelle, Advanced Energy offre i suoi materiali e la sua tecnologia collaudati e differenziati per le sorgenti di plasma. L'esclusivo design a doppio nucleo di accensione offre la migliore affidabilità di accensione del plasma della categoria. Caratterizzato da un'accensione affidabile e sempre pronta, MAXstream RPS offre un funzionamento più costante e minori tempi di inattività per la manutenzione dell'RPS. Il MAXstream RPS facilita la compatibilità con i sistemi RPS tradizionali, semplificando la compatibilità di progettazione e consentendo aggiornamenti sul campo senza soluzione di continuità a una nuova soluzione affidabile e ripetibile. - Cinque modelli: MAXstream 300 per applicazioni a bassa portata e MAXstream 600, 800, 1000, 1200 per applicazioni a portata più elevata - L'RPS altamente affidabile massimizza il tempo di attività dello strumento - Possibilità di integrazione con le unità RPS tradizionali per un facile aggiornamento del progetto a prestazioni e affidabilità superiori - Raffreddamento potenziato delle pareti della sorgente di plasma per ridurre i danni da espansione termica ed erosione chimica - Monitoraggio e controllo attivo della potenza del plasma per un controllo della potenza leader del settore