Macchina lucidatrice per metalli POLI-400L

di precisionea tavola rotantesu scala ridotta

POLI-400L è una lucidatrice chimica meccanica di piccole dimensioni per 4&6 pollici, che adotta il metodo di caricamento manuale, utilizza un airbag a membrana per aumentare la pressione in modo flessibile e può essere dotata di un sistema di monitoraggio della forza d'attrito e del punto finale della temperatura; viene utilizzata per la lucidatura di planarizzazione di ossidi, metalli, STI, SOI, MEMS e altri prodotti. Le applicazioni sono ampie. Funzioni complete La contropressione della membrana sul wafer, la piastra di lucidatura con sistema di raffreddamento incorporato, il cassetto a braccio oscillante e la funzione di monitoraggio del punto finale di rilevamento della temperatura e dell'attrito sono opzionali Funzionamento semplice Sistema di controllo PC, controllo touch screen, caricamento manuale, lucidatura CMP automatica con un solo pulsante. Buona compatibilità 3 condotte di alimentazione del liquame indipendenti, piastra di lucidatura facilmente sostituibile, testa di lucidatura sostituibile da 4 o 6 pollici, compatibile con wafer di diverse dimensioni e tipi. Ingombro ridotto Riduce al minimo l'ingombro a pavimento della camera bianca.