Macchina lucidatrice per metalli POLI-762

di precisionea tavola rotantemeccanica

POLI-762 è una piccola macchina per la lucidatura chimica meccanica da 12 pollici, che adotta il metodo di caricamento manuale, può essere dotata di un pallet di caricamento semiautomatico, utilizza un airbag a membrana per aumentare la pressione in modo flessibile e può essere dotata di un sistema di monitoraggio della forza di attrito e del punto finale della temperatura, utilizzato per la lucidatura di ossidi, metalli, STI, SOI, MEMS e altri prodotti. Le applicazioni sono ampie. Funzioni complete La piastra di lucidatura è dotata di un sistema di raffreddamento incorporato. Il cassetto a braccio oscillante, la funzione di monitoraggio del punto finale di rilevamento dell'attrito e della temperatura e il sistema di pressurizzazione su diverse aree sono opzionali. Funzionamento semplice Sistema di controllo PC, controllo touch screen, pallet di carico semiautomatico opzionale, lucidatura CMP automatica con un solo pulsante. Buona compatibilità 3 condotte di alimentazione del liquame indipendenti, piastra di lucidatura facilmente sostituibile, testa di lucidatura sostituibile da 4, 6, 8 e 12 pollici, compatibile con wafer di diverse dimensioni e tipi. Ingombro ridotto Riduce al minimo l'ingombro a pavimento della camera bianca.