1.Achieve che dispensa, film viscoso e appiccicoso, disposizione, wafer appiccicoso, imballaggio invertito, Gaas, controllo della pressione adesivo, alta precisione.
la piattaforma della ventilazione di ultra-precisione 2.Use, il sistema principale X, asse y usare un codificatore lineare ad alta definizione con pressione zero, il sistema frictionless completamente senza contatto del galleggiante dell'aria, scala del codificatore può raggiungere ad accuratezza 0.02um, può raggiungere ad alta velocità, la precisione, di posizionamento livello sotto micron
piattaforma ad alta velocità di sport integrata granito di uso di progettazione della piattaforma 3.The di alta stabilità, di modo che T8W nell'assicurazione della stabilità termica e stabilità meccanica e raggiungere tempo di avviamento ad alta velocità e +-1,5 um e perfino migliore accuratezza della toppa allo stesso tempo, in modo da soddisfare le richieste di applicazione di alta precisione.
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