Controllore di pressione di gas PC series

di portatadi precisione

Precisione sotto pressione. Precisione sotto controllo. I controllori e i misuratori di pressione della serie PC100 combinano una serie di caratteristiche tecnologiche ad alte prestazioni per offrire un nuovo livello di precisione e affidabilità nel controllo della pressione per i semiconduttori, la deposizione di vapore e altri processi produttivi ultra-precisi. Costruita sulla comprovata tecnologia del controllore di flusso di massa Brooks GF100, la serie PC100 presenta un percorso di flusso interamente metallico ad alta purezza, una tecnologia del sensore migliorata, progettata appositamente per eliminare la deriva del sensore e un'interfaccia utente e una capacità di diagnostica del dispositivo che rendono molto più facile la valutazione e la risoluzione dei problemi del dispositivo, con conseguente interruzione limitata del servizio e tempi di fermo ridotti. Caratteristiche - Tempo di risposta: <1 secondo - Portate a fondo scala fino a 10 slm - Gamma di pressione del trasduttore: 1000 Torr FS - Percorso del flusso di tenuta interamente in metallo: finitura superficiale Ra 5µ pollici - PC125 con flussometro incorporato include un sensore di flusso Hastelloy® C-22 altamente resistente alla corrosione combinato con un processore ARM ad alta velocità - Gruppo valvola ad azione rapida senza diaframma - Display LCD ad alta visibilità con pulsante facilmente accessibile per l'indicazione locale di flusso, temperatura e indirizzo di rete - Porta indipendente di diagnostica/assistenza - Protocollo DeviceNet Vantaggi I componenti ad alte prestazioni consentono una risposta e un tempo di regolazione rapidi per un migliore controllo della pressione Riduzione del consumo di gas deviato e dei costi di abbattimento associati Percorso di flusso bagnato interamente in metallo, resistente alla corrosione, conforme a SEMI F20, con un'area superficiale complessivamente ridotta e volumi non spazzati che assicurano un'asciugatura più rapida durante le fasi di spurgo La stabilità a lungo termine del dispositivo del sensore termico o di pressione massimizza la resa e il rendimento