Stabilite nuovi standard con il trasduttore VersaTorr BVT200/225 della serie Pirani. Si tratta di una soluzione all-in-one di misurazione ad ampio raggio per un'ampia selezione di applicazioni del vuoto. Si differenzia da tutti gli altri misuratori di vuoto offrendo una misurazione globale ed economica indipendente dal gas da 5.0E-3 a 1333 mbar in combinazione con la misurazione fino a 1E-6 mbar utilizzando il principio della perdita di calore.
Nelle applicazioni sotto vuoto dove la composizione o il tipo di gas può cambiare, i tradizionali manometri Pirani dipendenti dal gas provocheranno una deviazione di misurazione dalla pressione reale. Il trasduttore Tri- Sensor utilizza un sensore di precisione a membrana capacitiva (CDG) che elimina la dipendenza dal gas e fornisce misurazioni accurate anche quando le proprietà del gas cambiano.
Il sensore MEMS Pirani a perdita di calore integrato estende il campo di misura fino a 1E-6 mbar e fornisce una nuova regolazione automatica dello zero del manometro a capacitanza che elimina le comuni esigenze di regolazione manuale dello zero dei tradizionali manometri a membrana capacitiva.
Caratteristiche e benefici
Campo di misura ultra-ampio di 9 decadi
Il diaframma capacitivo aggiunge una maggiore accuratezza allo 0,5% attraverso la gamma del basso vuoto
6 decenni di misurazione indipendente dal gas da 5E-3 a 1333 mbar
Azzeramento automatico del manometro a capacitanza
Sensore di temperatura del vuoto per la diagnostica
Applicazioni
Serrature di carico
Camere di trasferimento
Forelines
Linee di sgrossatura a vuoto
Lavorazione di film sottili
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