Macchina per deposizione PVD NESSY series

per polverizzazione catodica a magnetrondi film sottilisottovuoto

La serie NESSY è un sistema di spruzzatura magnetronica di ultima generazione della Bühler Leybold Optics. È dedicato alla produzione di rivestimenti di specchi ultravioletti estremi (EUV) in condizioni di ultra alto vuoto (UHV) ed è progettato per la produzione di massa e per lo sviluppo di nuovi prodotti. Le verniciatrici NESSY possono essere equipaggiate con un massimo di sei diversi catodi sputter rettangolari e possono utilizzare molibdeno e silicio, insieme ad altri materiali essenziali per ottenere un rivestimento completo a specchio. In questo modo è possibile eseguire una pila di vernice completa in un solo ciclo. Applicazioni rivoluzionarie con una torre di verniciatura adatta al futuro Gli specchi multistrato al molibdeno-silicio con riflettanza massima ad una lunghezza d'onda di 13,5 nm sono diventati un classico nella tecnologia della riflessione. Questi specchi sono indispensabili come specchi a condensatore o come specchi per proiettori nelle apparecchiature litografiche di nuova generazione Oltre alla litografia EUV, gli specchi di interferenza multistrato possono essere utilizzati in dispositivi di misurazione dei raggi X, ottiche a radiazione di sincrotrone e altre applicazioni scientifiche sofisticate. L'ampia varietà di substrati complessi rende NESSY la scelta perfetta per lo sviluppo di nuove applicazioni e componenti.