Lente in vetro ULE®

in siliconeUVottico

Il vetro ULE® (Ultra-Low Expansion Glass) 7972 di Corning® è un vetro al titanio-silicato con caratteristiche di espansione prossime allo zero che lo hanno reso il materiale preferito in applicazioni uniche come blocchi di riferimento per macchine utensili, griglie, blocchi di riferimento, specchi di riferimento per interferometri e specchi per telescopi. L'ULE è un liquido monofasico superraffreddato con un CTE molto vicino a 0 ppb/K. EUV ULE 7973 è stato adattato per soddisfare le esigenze di maschere e substrati ottici per applicazioni EUVL. La transizione della litografia da 193 nm a 13,4 nm ha richiesto un importante cambiamento nella progettazione delle ottiche stepper, da rifrattive a riflettenti. Nelle ottiche a riflessione, i materiali del substrato devono essere puramente passivi. La luce incidente deve riflettersi sui rivestimenti multistrato dell'ottica e della fotomaschera senza introdurre alcuna distorsione meccanica o ottica causata dal substrato sottostante. Per ridurre al minimo la distorsione causata dalle minime variazioni di temperatura e soddisfare le rigorose specifiche EUVL, i substrati devono avere un coefficiente di espansione termica (CTE) prossimo allo zero e basse variazioni di CTE da picco a picco (P-V). I requisiti di CTE estremamente bassi sono specificati in parti per miliardo per grado kelvin (ppb/K). I severi requisiti di CTE impongono miglioramenti anche nella metrologia e Corning continua a migliorare i metodi di metrologia per soddisfare i requisiti EUVL. È possibile personalizzare in modo discreto la temperatura di zero cross-over. Il vetro a bassa espansione TSGTM 7972 è il terzo membro della famiglia di vetri a bassa espansione in silicato di titanio di Corning. Il TSG ha un coefficiente assoluto di espansione termica (CTE) rilassato per quelle applicazioni che non richiedono un materiale a espansione quasi zero.