Sensore di gas NDIR Gasboard-2060

per monitoraggio della purificazione dei gas per semiconduttorianalogicocon uscita in tensione

Panoramica
Il Gasboard-2060 è un sensore di gas SiF4 ad alte prestazioni progettato per il rilevamento in tempo reale del punto finale di pulizia (EPD) nelle camere di deposizione CVD a base di silicio. Basato sulla tecnologia a infrarossi non dispersiva (NDIR) e dotato di una camera del gas appositamente progettata, fornisce misurazioni altamente selettive e precise della concentrazione di SiF4 nei processi di pulizia delle camere. Il Gasboard-2060 monitora la concentrazione di SiF4 in tempo reale, consentendo un'indicazione rapida e precisa del punto finale di pulizia per ridurre i tempi di pulizia e il consumo di gas, minimizzando l'usura della camera e prolungando la vita utile dei componenti. Il design modulare facilita l'installazione e supporta funzioni di calibrazione e regolazione per una comoda integrazione e manutenzione.

Caratteristiche

• Tecnologia NDIR per una misurazione sensibile e accurata del SiF4.
• Risposta rapida per una determinazione precisa del punto finale di pulizia della camera di deposizione.
• Bassa deriva dello zero e alta ripetibilità per prestazioni di misura costanti.
• Design modulare per una facile integrazione e installazione del sistema.
• Uscite di comunicazione analogiche e digitali per un'interfaccia flessibile.

Specifiche
Misura: SiF4
Principio di rilevamento: NDIR
Intervallo: (0.0-0.2) Absorbance
Tempo di risposta: T90＜2s
Frequenza di segnalazione dati: 0.5s
Uscita analogica: 1-10VDC
Alimentazione: 15VDC (≤300mA), 24VDC
Comunicazione digitale: RS232
Porta di campionamento: KF16
Dimensioni: 200×120×75.5mm
Tasso di perdita: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
Temperatura di esercizio: (5～65) ℃

Specifiche tecniche

• Misura: SiF4
• Principio di rilevamento: NDIR
• Intervallo: (0.0-0.2) Absorbance
• Tempo di risposta: T90＜2s
• Frequenza di segnalazione dati: 0.5s
• Uscita analogica: 1-10VDC
• Alimentazione: 15VDC (≤300mA), 24VDC
• Comunicazione digitale: RS232
• Porta di campionamento: KF16
• Dimensioni: 200×120×75.5mm
• Tasso di perdita: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• Temperatura di esercizio: (5～65) ℃