Sensore di gas NDIR Gasboard-2061

per misurazione di processiper monitoraggio della purificazione dei gas per semiconduttoridigitale

Panoramica del prodotto
Gasboard-2061 è un sensore di gas NDIR WF6 progettato per il rilevamento in tempo reale del punto finale di pulizia nelle camere di deposizione CVD al tungsteno (WCVD). Misura la concentrazione di WF6 con sensibilità e stabilità in condizioni di processo, consentendo di rilevare il termine della pulizia per ridurre i tempi, limitare l'uso eccessivo di gas e minimizzare l'usura della camera.

Gasboard-2061 presenta un design modulare e compatto per un'installazione semplice. Supporta interfacce analogiche e digitali e consente calibrazione e regolazioni per una facile integrazione nei sistemi di controllo processo.

Caratteristiche

• Tecnologia NDIR ottimizzata per il monitoraggio di WF6.
• Risposta rapida per tracciare le variazioni di concentrazione in tempo reale.
• Bassa deriva dello zero e alta ripetibilità per risultati costanti.
• Progettazione sigillata adatta all'uso in condizioni di vuoto.
• Costruzione in 316L resistente ad ambienti di processo corrosivi.
• I/O analogici e digitali per integrazione e manutenzione.

Specifiche
Componente misurato: WF6
Intervallo: 0–200 mTorr
Ripetibilità: ±0,5 %
Precisione: ±1 % F.S.
Tensione di funzionamento: 24 VDC
Corrente di funzionamento: 1,5 A (max)
Uscita analogica: 0–5 VDC (4 canali) o 4–20 mA (4 canali)
Ingresso analogico: 0–10 VDC (1 canale)
Uscita digitale: 4 canali; Ingresso digitale: 1 canale
Comunicazione: RS485
Porta di campionamento: NW25
Perdita: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
Temperatura ambiente di esercizio: 20–35 ℃

Note

• Tutti i dati sono misurati a pressione atmosferica standard.
• I gas di taratura sono forniti da istituti certificati dalle autorità nazionali di metrologia; i gas sono diluiti in azoto secco con purezza del 99,999 %.
• I valori di prestazione sono forniti dopo taratura; ogni sensore è tarato al 100 % in produzione.
• Le misurazioni sono effettuate a 25 ℃ salvo diversa indicazione.

Specifiche tecniche

• Componente misurato: WF6
• Intervallo: 0–200 mTorr
• Ripetibilità: ±0,5 %
• Precisione: ±1 % F.S.
• Tensione di funzionamento: 24 VDC
• Corrente di funzionamento: 1,5 A (max)
• Uscita analogica: 0–5 VDC (4 canali) o 4–20 mA (4 canali)
• Ingresso analogico: 0–10 VDC (1 canale)
• Uscita digitale: 4 canali; Ingresso digitale: 1 canale
• Comunicazione: RS485
• Porta di campionamento: NW25
• Perdita: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
• Temperatura ambiente di esercizio: 20–35 ℃