Pompa a vuoto turbomolecolare iXL

a seccomonostadioal plasma

è una gamma di pompe a secco compatte a basso consumo energetico per applicazioni leggere, ad es. movimentazione di wafer, PVD e metrologia. Rapida evacuazione della camera e consumo energetico estremamente basso Le pompe a secco iXL600(N) e iXL1000(N) sono tra le più piccole e silenziose pompe disponibili per applicazioni leggere Le varianti iXL600M e iXL1000M sono sottoposte a processo di polimerizzazione e progettate appositamente per l'incisione dielettrica (ossido) e altre applicazioni simili Le pompe a secco iXL600(N) e iXL1000(N) sono caratterizzate da un'elevata velocità di pompaggio e da un basso consumo energetico Attualmente, il modello iXL900R è la pompa con blocco del carico più veloce della categoria per applicazioni con blocco del carico FPD. Questa nuova pompa, particolarmente adatta alle più grandi camere di blocco del carico utilizzate per le applicazioni con deposizione in fase di vapore al plasma (PVD), consente ai clienti di ridurre significativamente i costi operativi e i tempi di installazione. Inoltre, i clienti avranno bisogno di meno pompe per camera di blocco del carico, riducendo i tempi di installazione, i costi di sistemizzazione, la manutenzione e i consumi. La funzione Green Mode consente di ridurre i consumi durante i periodi di inattività, abbassando i costi e contribuendo a migliorare le prestazioni ambientali