Più ecologiche e più affidabili con un costo di gestione ridotto
La nostra innovativa gamma di pompe a secco è dotata di una tecnologia all'avanguardia, progettata per migliorare l'ambiente di produzione dei semiconduttori e dei componenti elettronici.
Ogni gamma è stata progettata appositamente per offrire vantaggi in termini di prestazioni ambientali, affidabilità in condizioni difficili e agilità nelle applicazioni leggere.
Le pompe a secco a basso consumo energetico della serie iXM possono apportare reali miglioramenti di processo grazie all'aumento dei tempi di attività, all'impatto ambientale ridotto e ai vantaggi in termini di costi per le applicazioni più critiche.
Il meccanismo Roots ad alta efficienza energetica è in grado di ridurre fino al 60% la potenza in ingresso, riducendo l'impatto ambientale e abbassando i costi di gestione
La tecnologia di barriera contro i gas e le ottimizzazioni del design termico consentono una resistenza alla corrosione quattro volte superiore rispetto alla nostra serie precedente
Le funzionalità avanzate di gestione delle polveri garantiscono la massima affidabilità e una maggiore durata della pompa per i processi di incisione multistrato
Consumo energetico ridotto per i processi CVD
Il design compatto e leggero, unito a rumorosità e vibrazioni eccezionalmente basse, offre una maggiore versatilità
La serie iXM è disponibile con tecnologia XCEDE per una maggiore resistenza alla corrosione.