Asse lineare con motore lineare EZ-5504

di precisionecompattoregolabile

Con l'asse di messa a fuoco EZ-5504, EIZENBERGER ha implementato un concetto di asse completamente nuovo e innovativo. Le caratteristiche esterne sono le dimensioni compatte di 99 x 99 x 80 mm (L x P x A) e un'apertura centrale continua di circa 35 mm per i componenti ottici. Il cuscinetto pneumatico antislittamento consente la massima precisione sull'intera corsa di 18 mm e una ripetibilità nell'ordine dei nanometri. Oltre all'errore di posizione estremamente ridotto, è particolarmente degno di nota il basso errore di inclinazione dell'asse. L'asse di messa a fuoco è compensato magneticamente in modo permanente e progettato per un carico utile di 250 g. La compensazione del peso è regolabile per masse da 50 a 300 g. L'asse di messa a fuoco può essere spostato dinamicamente tramite un motore a bobina mobile. Come sistema di misura viene utilizzata una testa di misura Renishaw con una risoluzione di 1 nm e un'interfaccia BiSS-C. Applicazioni: L'asse di messa a fuoco è adatto per applicazioni di alta precisione nei settori della litografia, dell'esposizione di maschere, delle applicazioni di scansione o in generale per il posizionamento di ottiche e sensori. Grazie alle dimensioni compatte e al peso ridotto del sistema, l'asse può essere facilmente integrato in molte applicazioni. Il cuscinetto ad aria e i materiali utilizzati rendono l'asse di messa a fuoco adatto ad applicazioni in camera bianca.