Piastra di posizionamento XY EZ-0745-ZC

Zrotativaa cuscino d'aria

L'asse ZC a cuscinetto d'aria EZ-0745 è destinato all'integrazione in uno stadio XY (ad es. EZ-0715). Grazie al design altamente integrato, è necessaria solo un'altezza complessiva ridotta di circa 138 mm. L'angolo di rotazione è limitato a ± 3°. L'elevata ripetibilità di ± 1,5 μrad consente un allineamento molto preciso del substrato. L'asse Z è protetto dalla rotazione tramite 2 cuscinetti ad aria ed è azionato dinamicamente da 2 bobine mobili contrapposte. Per il disaccoppiamento del peso è integrato un cilindro pneumatico a cuscinetto d'aria. È possibile una regolazione individuale della corsa Z, specifica per il cliente.