Filtro ad aria SilverSet™

a carboni attiviper applicazioni chimicheplissettato

Filtri chimici da SilverSet™ per alloggiamento E2600 Le ottica avanzate del dispositivo d'esplorazione e resistono alla protezione I mezzi attivati del carbonio in filtri dall'ingresso impedice la conversione di PGMEA ad acido acetico, che può causare il photoresist che proceda la variazione e la corrosione del materiale La configurazione di filtro da Asymetric impedice la conversione di HDMSO a TMS, che causa la contaminazione dell'obiettivo del dispositivo d'esplorazione I filtri ibridi che contengono il carbonio alto-attivato più i mezzi plymetric avanzati rimuove una gamma completa degli agenti inquinanti compreso gli acidi, le basi ed i prodotti organici condensabili il corso della vita di due anni del filtro ad efficienza di rimozione di >99% per gli acidi, le basi ed i prodotti organici condensabili nella baia tipica della foto del locale senza polvere condiziona Il disegno pieghettato del filtro nel telaio rigido e profondo ottimizza l'area della componente attiva per utilizzazione ed efficienza massime La disposizione di serie del filtro con gli orificii di campione del interstack fornisce i livelli multipli di protezione e tiene conto il controllo di prestazione del filtro e la rilevazione iniziale di innovazione Prestazione chimica di filtrazione convalidata dai servizi del Entegris Analytical, fornenti assicurazione che tutti i reclami di prestazione del filtro sono verificati con i dati sostenenti.