Filtri dell'aria del prodotto chimico di Vaporsorb™ CSP-32
Le ottica avanzate e resistono alla protezione
Il carbonio altamente attivato più i mezzi polymetric avanzati elimina gli acidi, le basi ed i prodotti organici condensabili in ogni cellula del filtrante
Il disegno pieghettato del filtro nei telai rigidi e profondi ottimizza l'area della componente attiva per utilizzazione ed efficienza massime
La perdita di pressione bassa permette alla disposizione di serie del filtro ed ai livelli multipli di protezione
La disposizione del filtro dagli orificii e dal seriel del campione di Interstack permette il controllo di prestazione del filtro senza compromettere il photoresist o le superfici ottiche esposte
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