Purificatori di gas corrosivi di GateKeeper®
Purificazione redditizia del gas
Trasporta costantemente il gas di ultrapure
Progettato per uso con l'HCl, il Cl2, HBr, BCl3, SiCl4 e SiF4. I purificatori rimuovono l'umidità a ppb <1 (parte-per-miliardo) in N2.
Protezioni contro l'innovazione all'ingrosso del purificatore di gas, punti dell'impurità dai serbatoi liquidi, changeouts del cilindro ed agenti inquinanti inattesi nel processo
Non libera gli idrocarburi che possano contaminare il processo
Tecnologia di purificazione di temperatura ambientale di usi - nessun potere o calore richiesto
Perdita di pressione bassa attraverso i purificatori
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