Sistema di depurazione per gas GateKeeper
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Caratteristiche
- Specificazioni
- per gas
Descrizione
Sistemi di purificazione del gas GateKeeper
Le serie di supporti GPS (HX, DX e Z2) forniscono una serie di gas purificati a basso costo di proprietà, a livelli di parti per trilione (ppt)
Portate massime che vanno da 311 SLM a 932 SLM
Le applicazioni includono strumenti di litografia ad immersione, produzione di semiconduttori e LED
I depuratori si autorigenerano automaticamente, garantendo un flusso continuo di gas puro
Il design compatto utilizza il minimo ingombro al suolo per garantire un risparmio sui costi dell'impianto
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Cataloghi
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.