Misuratore di vuoto capacitivo a membrana CDG025D

con sensori in ceramicadigitale

CDG025D La linea di manometri a diaframma di capacità a membrana INFICON SKY CDG025D di manometri ad alta precisione compensati in temperatura è progettata per prestazioni stabili in ambienti di produzione difficili. L'elettronica digitale avanzata migliora le prestazioni del calibro e offre caratteristiche di facile gestione come la funzione zero con un solo pulsante e la regolazione del setpoint. Il sensore in ceramica resistente alla corrosione fornisce un'eccellente stabilità a zero con una lunga aspettativa di vita di diversi milioni di cicli di pressione, comprese le esplosioni atmosferiche. Un'esclusiva schermatura del sensore (in attesa di brevetto) protegge il calibro dalla contaminazione del processo. Una robusta struttura meccanica ed elettronica digitale migliorano la compatibilità EMC, la stabilità a lungo termine e la compensazione della temperatura. Il CDG025D stabilisce nuovi standard per una rapida stabilità dopo l'accensione e un rapido recupero dall'esposizione alla pressione atmosferica. Vantaggi Campi di fondo scala da 100 mTorr ... 1000 Torr Rapida stabilità dopo l'accensione Rapido recupero dalla pressione atmosferica Sensore in ceramica resistente alla corrosione Eccellente stabilità del segnale a lungo termine Compensazione della temperatura Sensore protetto dalla contaminazione Funzione zero con un solo pulsante Alimentazione ad ampio raggio Applicazioni tipiche Apparecchiature per la produzione di semiconduttori per Etch, CVD, PVD, ALD Archiviazione dei dati e visualizzazione delle apparecchiature di produzione Attrezzature industriali per il vuoto Misurazione generale della pressione ad alta precisione