BAG402
Misuratore di vuoto medio-alto
Il misuratore a ioni caldi Bayard-Alpert singolo INFICON BAG402 copre un ampio campo di misura da 5×10-10 mbar a 2,7×10-2 mbar (da 3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr). Scegliere l'INFICON BAG402 per un processo economico e ripetibile per le misure di pressione di base in un pacchetto compatto di manometri attivi. I doppi filamenti, unici e supportati, offrono una precisione, una lunga durata e una longevità superiori.
Vantaggi
Campo di misura da 5×10-10 mbar a 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr)
Eccellente ripetibilità nel campo di pressione di processo da 10-8 ... 10-2 mbar del 5%
Il rilevamento della sovrapressione protegge il filamento dal burnout prematuro
Due filamenti di iridio rivestiti di ossido di ittrio a lunga durata
La selezione automatica della corrente di emissione riduce la complessità del controllo
L'elemento sensibile facile da scambiare con i dati di taratura a bordo garantisce un'elevata riproducibilità
Conformità RoHS
Applicazioni tipiche
Misurazione della pressione nel processo dei semiconduttori e nelle camere di trasferimento
Rivestimento industriale
Misurazione e controllo generale del vuoto nel campo da basso ad altissimo vuoto
---