Misuratore di vuoto capacitivo a membrana CDG160D

con sensori in ceramicasenza monitor

CDG160D I manometri ad alta temperatura INFICON SKY CDG160D sono la scelta migliore per una misurazione e un controllo accurato della pressione totale. I misuratori CDG160D sono controllati a temperatura a 160 °C per prestazioni superiori in processi esigenti di semiconduttori e plasma. Sono disponibili per campi di fondo scala da 1 Torr a 1000 Torr, con tutti i comuni tipi di flangia e interfacce per bus di campo e forniscono un segnale di pressione lineare da 0 a 10 V, indipendente dal tipo di gas. I manometri a capacità INFICON utilizzano un diaframma in ceramica di allumina ultra pura che è a prova di corrosione. I vantaggi del sensore ceramico sono una migliore stabilità del segnale, un più rapido recupero dall'atmosfera, un breve tempo di riscaldamento e una durata straordinaria. Gli INFICON CDG sono sensori di pressione di alta qualità ed economici per applicazioni esigenti di semiconduttori, plasma e vuoto. Vantaggi Minore CoO (costo di gestione), riscaldamento più veloce del 50%, basso consumo energetico e basso consumo energetico Facile integrazione, ampia varietà di scale complete, flange e interfacce, standard con due set point Semplice comando di zero con un solo pulsante o segnale remoto, offset di zero regolabile Porta diagnostica per una rapida assistenza e manutenzione Due anni di garanzia, durata più lunga con il concetto di riscaldamento e la protezione del manometro Nessuna ricalibrazione a lungo termine grazie all'eccellente stabilità e ripetibilità del segnale, anche in applicazioni al plasma difficili Conformità e standard: CE, EN, UL, SEMI, RoHS Applicazioni tipiche Etch, CVD, PVD e altri processi di produzione di semiconduttori Processi chimici e corrosivi ad alta temperatura Processi generali a film sottile e sottovuoto che richiedono una protezione del calibro