video corpo

Linea di trattamento per wafer EVG®101

linea di trattamento per wafer
linea di trattamento per wafer
linea di trattamento per wafer
linea di trattamento per wafer
linea di trattamento per wafer
linea di trattamento per wafer
linea di trattamento per wafer
Aggiungi ai preferiti
Confronta con altri prodotti
 

Caratteristiche

Specificazioni
per wafer

Descrizione

Il sistema di elaborazione EVG101 resist esegue processi di ricerca e sviluppo su una singola camera, che è pienamente compatibile con i sistemi automatizzati di EVG. L'EVG101 supporta wafer fino a 300 mm e può essere configurato per lo spin o spray coating e lo sviluppo. Strati conformi di fotoresist o polimeri sono realizzati su wafer strutturati in 3D per le tecniche di interconnessione con l'avanzata tecnologia di rivestimento OmniSpray di EVG. Questo assicura un basso consumo di materiale di preziosi fotoresistenti o polimeri ad alta viscosità, migliorando l'uniformità e resistendo alle opzioni di spalmatura. Caratteristiche Dimensioni wafer fino a 300 mm Spinatura o spalmatura automatica o verniciatura a spruzzo o sviluppo con carico/scarico manuale dei wafer Trasferimento rapido e semplice del processo dalla ricerca alla produzione utilizzando un design modulare collaudato e un software standardizzato Sistema di erogazione a siringa per l'utilizzo di piccoli volumi di resistenze, comprese le resistenze ad alta viscosità Ingombro ridotto pur mantenendo un elevato livello di sicurezza personale e di processo Concetto multiutente (numero illimitato di account utente e ricette, diritti di accesso assegnabili, diverse lingue dell'interfaccia utente) Opzioni Rivestimento uniforme di superfici di wafer ad alta topografia con la tecnologia di rivestimento OmniSpray® Cera e rivestimento epossidico per i successivi processi di incollaggio Rivestimento Spin-On-Glass (SOG)

---

* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.