Linea di trattamento per l'industria agroalimentare EVG®120

per wafer

L'EVG®120 è un sistema di lavorazione resist compatto ed economico per l'avvio della produzione quando lo spazio in camera bianca è limitato. Il nuovo utensile universale e completamente automatizzato EVG120 è in grado di lavorare substrati di varie forme e dimensioni fino a 200 mm/8". Questa nuova generazione di EVG120 è disponibile in un nuovo design ultracompatto con cabinet chimico di nuova concezione per lo stoccaggio esterno di prodotti chimici, che offre una maggiore capacità produttiva, ottimizzata per le esigenze dei clienti in grandi volumi e pronta per l'utilizzo nella produzione di grandi volumi (HVM). L'EVG120 offre agli utenti una serie elaborata di vantaggi che semplicemente non si trovano in nessun altro strumento e garantisce i più alti standard qualitativi in diversi campi di applicazione ad un costo di proprietà notevolmente basso. Caratteristiche Dimensioni wafer fino a 200 mm Design ultracompatto per un ingombro minimo Fino a 2 camere di verniciatura/sviluppo e 10 piastre di riscaldamento/raffreddamento Combinazioni versatili di moduli multifunzionali per lo spin e spray coating, lo sviluppo, la cottura e il raffreddamento offrono grandi opportunità in molti campi di applicazione Armadio chimico per lo stoccaggio esterno di prodotti chimici La tecnologia di nebulizzazione a ultrasuoni OmniSpray® di proprietà del Gruppo EV fornisce risultati di processo ineguagliabili quando si tratta di rivestimento conforme di topografie estreme Coperchio rotante CoverSpinTM per un basso consumo di resistenze e un'uniformità ottimizzata del rivestimento delle resistenze La tecnologia Megasonic per la pulizia, la lavorazione sonochimica e lo sviluppo migliora l'efficienza del processo e riduce il tempo di processo da ore a minuti La sofisticata e collaudata gestione robotizzata sul campo con capacità di doppio effetto finale assicura una produttività elevata e continuativa