La famiglia di stripper per fotoresist FUJIFILM offre scelte di lavorazione e vantaggi prestazionali rispetto agli attuali standard industriali per la tecnologia dell'alluminio e del rame. Questi materiali sono utilizzati per la rimozione a umido di fotoresist di massa e di spessore nei processi a singolo wafer e a lotti.
Gamma di prodotti
Rimozione di fotoresist positivo e negativo e rimozione dei residui postmacchia.
A base di DMSO
Microstrip™ 3001: strippante per fotoresist di massa ampiamente applicabile
Microstrip™ 3200: strippante leggermente acido, privo di ammine, con eccellente compatibilità con i metalli
Microstrip™ 6800: strippante per fotoresist applicabile a singoli wafer con prestazioni di pulizia migliorate su fotoresist fortemente reticolati
Microstrip™ 6310: stripper per fotoresist compatibile con Cu per impieghi gravosi
Microstrip™ 6365: Spellicolatore per fotoresistenze per impieghi gravosi, ampiamente compatibile con vari metalli, tra cui Al e Cu
Spelacavi per la rimozione del fotoresist negativo
Microstrip™ V
Stripper per la rimozione di fotoresist positivo e negativo
Gensolve 470
Caratteristiche e vantaggi
Gli stripper per fotoresist FUJIFILM sono progettati per garantire prestazioni ottimali, bassi costi di gestione e un impatto minimo sull'ambiente e sulla salute
Opzioni di confezionamento:
4 bottiglie da 4L
1 tanica da 20 litri
fusti da 200L (a perdere e a rendere)
iBC da 1000L
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