Rivelatore per resina fotosensibile OPD series

Overview FUJIFILM Electronic Materials fornisce una gamma completa di sviluppatori a base di TMAH per sistemi di photoresist positivi e negativi. Disponibili in formulazioni Ready-to-Use (RTU) e concentrate, i prodotti supportano lo sviluppo per immersione e le piste in linea per la produzione di semiconduttori.

Product Lineup

• Prodotti Ready-to-Use (RTU)
  • Sviluppatore senza tensioattivo (TMAH 2.38 wt%)
  • Sviluppatore con tensioattivo (TMAH 2.38 wt%)
• Prodotti concentrati
  • Concentrato TMAH 24,9% (richiede diluizione da parte del cliente)
  • 10% TMAH con tensioattivo (concentrato pre‑blendato per diluizione)
• Esempi di modelli
  • OPD 262 — sviluppatore senza tensioattivo
  • OPD 4262 — sviluppatore con tensioattivo ad ampia compatibilità
  • OPD 4280 — sviluppatore con tensioattivo ad ampia compatibilità
  • WNRD — sviluppatore per resiste negativi

Features & Benefits

• Gradi di purezza multipli, incluse opzioni ultra‑alta purezza per applicazioni avanzate e EUV
• Formati RTU e concentrati per flussi di lavoro standard o diluizione in loco
• Compatibile con sviluppo per immersione e piste in linea
• Opzioni con o senza tensioattivo per adattarsi al resist e al processo
• Fornitura in bulk e concentrata per produzione ad alto volume

Packaging & Delivery

• IBC 1000 L (monouso o ritornabili)
• Fusti 200 L (monouso o ritornabili)
• Consegna bulk (dipende dalla località)
• 4 x 4 L flaconi

Technical Specifications

• Base chimica: TMAH (tetrametilammonio idrossido)
• Tipi di prodotto: RTU (es. TMAH 2.38 wt%) e concentrati (es. 24,9% TMAH; 10% TMAH con tensioattivo)
• Applicazioni: sistemi di resiste positivi e negativi; sviluppo per immersione e piste in linea; compatibile EUV
• Tensioattivo: disponibile con o senza
• Gradi di purezza: standard a ultra‑alta purezza
• Opzioni di fornitura: concentrato, bulk, fusti, IBC, flaconi

Ordering & Support

• Imballaggi personalizzati e supporto alla diluizione disponibili per clienti ad alto volume
• Contattare FUJIFILM Electronic Materials per campioni, schede tecniche e informazioni regolatorie