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Resina per semiconduttori i-Line
fotosensibile

Resina per semiconduttori - i-Line - Fujifilm NDT Systems - fotosensibile
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Caratteristiche

Applicazioni
per semiconduttori
Altre caratteristiche
fotosensibile

Descrizione

Panoramica
Serie di fotoresist sensibili al mid-UV formulate per il patterning su un'ampia gamma di risoluzioni (inferiore a 0,30 µm fino a >1,0 µm) e spessori di film variabili su substrati non riflettenti, riflettenti e ad alta riflettività.

Gamma prodotti
  • Resist i-Line per substrati non riflettenti
    Famiglie di resist progettate per stampa CD critica su substrati non riflettenti:
    • OiR 620 series
    • OiR 674 series
  • Resist i-Line per substrati riflettenti
    Serie con opzioni di fotosensibilità elevate per risoluzioni avanzate su substrati riflettenti:
    • OiR 674 series
    • GiR 1102 series
  • Resist i-Line ad alta risoluzione multiuso
    Serie che offrono le opzioni di fotospeed più rapide per alta produttività e patterning ad alta risoluzione:
    • GiR 2700 series
    • OiR 305 series
    • OiR 906 series
    • OiR 907 series
  • Resist crossover g- e i-Line e broadband
    Resist adatti a g-line, i-line e broadband (>800 nm CD):
    • HiPR 6500 series
    • HPR 510 series
  • Resist tinti per substrati ad alta riflettività
    Formulazioni non scolorenti che forniscono elevata densità ottica per il controllo di CD e notching:
    • OiR 906HD
    • OiR 305HC
    • HiPR 6500GH
    • HiPR 6500HC
  • Resist i-Line per applicazioni spesse
    Serie progettate per patterning di film spessi (3–13 µm):
    • FHi-560EP
    • GiR 3114
    • OiR 305
    • OiR 908


Caratteristiche e vantaggi
Opzioni complete di resist mid-UV che coprono gamme CD critiche e non critiche, compatibilità con più tipi di substrati e ampie finestre di spessore film, con compromessi fotospeed/risoluzione selezionabili per serie.

Specifiche tecniche
  • Sensibilità: mid-UV (i-line / g-line / broadband)
  • Risoluzione target: <0,30 µm a >1,0 µm a seconda della serie
  • Compatibilità substrati: non riflettenti, riflettenti e ad alta riflettività
  • Serie rappresentative: OiR 620, OiR 674, GiR 1102, GiR 2700, OiR 305, OiR 906, OiR 907, HiPR 6500, HPR 510, OiR 906HD, OiR 305HC, HiPR 6500GH, HiPR 6500HC, FHi-560EP, GiR 3114, OiR 908
  • Controllo di CD e notching per substrati altamente riflettenti (serie tinte)
  • Intervallo di spessore film per applicazioni spesse: 3 µm a 13 µm
  • Opzioni per fotospeed elevato e alta risoluzione (>500 nm CD) a seconda della serie

Cataloghi

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Semiconductor Materials

* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.