Resina per semiconduttori

per applicazioni elettronichefotosensibile

Panoramica
Serie di resist negativi Fujifilm a base di poliisoprene, formulate per imaging per proiezione, prossimità e contatto e compatibili con processi di incisione umida su vari substrati. Diverse serie coprono un ampio intervallo di spessori di rivestimento per soddisfare requisiti di risoluzione e spessore.

Gamma prodotti

• Serie SC Resist
  Per applicazioni più spesse con spessori di 1,8–10 µm; ottimizzata per esposizione per contatto.
• Serie IC Type 3 Resist
  Per applicazioni di spessore medio con rivestimenti da 0,75 a 2,0 µm; adatta per esposizioni per proiezione, prossimità e contatto.
• Serie HNR Resist
  Per applicazioni ad alta risoluzione con spessori di 0,50–1,40 µm; ottimizzata per esposizione in prossimità e per contatto.
• Serie HR Resist
  Per applicazioni su substrati altamente riflettenti con spessori di 0,70–1,50 µm; adatta per esposizioni per proiezione, prossimità e contatto.

Applicazioni

• Imaging per proiezione, prossimità e contatto per il patterning di circuiti e la microfabbricazione
• Compatibilità con processi di incisione umida su vari substrati, incluse superfici altamente riflettenti
• Scelta della serie che consente di abbinare spessore di rivestimento e risoluzione ai requisiti del processo

Specifiche tecniche

• Marca: Fujifilm
• Tipo di prodotto: Resist negativo (a base di poliisoprene)
• Tonalità: Negativa
• Base polimerica: Poliisoprene
• Imaging: Proiezione, prossimità e contatto
• Applicazioni raccomandate: Processi di incisione umida; applicazioni su substrati altamente riflettenti (serie HR)
• Serie SC Resist: spessore di rivestimento 1,8–10 µm — ottimizzata per stampanti a contatto
• Serie IC Type 3 Resist: spessore di rivestimento 0,75–2,0 µm — per stampanti di proiezione, prossimità e contatto
• Serie HNR Resist: spessore di rivestimento 0,50–1,40 µm — per imaging ad alta risoluzione in prossimità e contatto
• Serie HR Resist: spessore di rivestimento 0,70–1,50 µm — per substrati altamente riflettenti con proiezione, prossimità e contatto