Resina per semiconduttori KrFad alta resistenzafotosensibilead alta stabilità termica
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Caratteristiche
- Applicazioni
- per semiconduttori
- Altre caratteristiche
- ad alta resistenza, fotosensibile, ad alta stabilità termica
Descrizione
La serie GKR è costituita da sistemi fotoresistenti KrF a tono positivo che coprono un'ampia gamma di applicazioni.
- Materiali non PFOS/PFAS
- Applicazione ad alto rapporto d'aspetto
- Resistenza superiore all'incisione al plasma e all'impiantazione ionica
- Ampie finestre di processo
- Bassi livelli di difetti
- Stabilità a lungo termine
- Profili verticali
- Ampia copertura dello spessore
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Cataloghi
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