Modulo di rilevamento di pirolisi Py-ReX

di gaselettrochimico

Il modulo pirolizzatore Py-ReX è un componente aggiuntivo per il rilevatore di gas D-ReX PoS, che utilizza la sua pompa integrata per il rilevamento di gas estrattivi. Se utilizzato in combinazione con il Py-ReX, il D-ReX è in grado di rilevare gas troppo tossici o chimicamente inattivi per essere misurati direttamente. Rilevazione di gas con un pirolizzatore L'uso di un pirolizzatore amplia le possibilità di rilevamento dei gas nella produzione di semiconduttori e facilita la conformità ai severi standard di qualità, oltre a ottimizzare i processi produttivi. Per qualsiasi processo che richieda la misurazione di gas troppo tossici o troppo inattivi dal punto di vista elettrochimico per essere misurati direttamente, un pirolizzatore è essenziale. Basandosi sulle capacità del D-ReX PoS, il Py-ReX è stato sviluppato per rilevare tali gas in modalità di estrazione. Viene montato tra il punto di campionamento e il rilevatore di gas. Il gas da misurare viene quindi guidato attraverso il pirolizzatore mediante una pompa, prima di raggiungere il sensore all'interno del D-ReX, dove viene misurato al termine della pirolisi. Come funziona la pirolisi? Un pirolizzatore dissolve il gas originale (gas bersaglio) in uno che può essere misurato (gas misurato). Questa fase è necessaria per la misurazione di alcuni gas, poiché senza di essa non possono essere rilevati. La concentrazione del gas misurato può quindi essere utilizzata per calcolare la concentrazione del gas bersaglio. Il Py-ReX è un pirolizzatore a filamento. Un filamento in un tubo di vetro di quarzo viene riscaldato a una temperatura specifica, regolata con precisione in base al gas bersaglio. A contatto con il filamento, il gas target si decompone nel gas misurato e può essere rilevato dal sensore elettrochimico intelligente del rilevatore di gas.